精密滑臺(tái)的實(shí)際使用例

分配器裝置

龍門式XYZ滑臺(tái)／滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)

映射裝置

晶片樣品臺(tái)： XY滑臺(tái)

掃描透鏡：?jiǎn)屋S執(zhí)行器

搬運(yùn)裝置（2個(gè)零件同時(shí)）

XZ滑臺(tái)／Z×2臺(tái) 安裝

上述列舉的例子是電子領(lǐng)域最具代表性的裝置引進(jìn)例。

順便說(shuō)一下，本稿未過(guò)多提及滑臺(tái)的精度，不同用途所要求的精度水平各式各樣，大致為50µm～5nm，

要求的精度不同，設(shè)計(jì)上、驅(qū)動(dòng)方式和機(jī)構(gòu)，以及控制方針都不同。