世界知名的極端環(huán)境納米精度位移器制造商，在穩(wěn)定優(yōu)異的性能、原子級定位精度、納米位移步長和厘米級位移范圍內(nèi)受到科學(xué)家的肯定和贊賞。

納米位移臺在提供極高精度的位移控制的同時，保證了優(yōu)異的穩(wěn)定性能，適合于室溫、大氣到超高真空環(huán)境，負載為幾公里，行程為50mm，最小步長為50nm，搭載的光學(xué)位移傳感器將位移精度控制在10nm

本實用新型公開了一種基于分光激光干涉的六自由度納米位移臺校準裝置，屬于激光精密測距技術(shù)領(lǐng)域。 所述裝置包括支撐臺、分光測定裝置系統(tǒng)和納米位移臺. 該設(shè)計保證了納米移動平臺6自由度姿態(tài)的測量，解決了任意姿態(tài)納米級位移測量的難題，適用于x軸、y軸、z軸和旋轉(zhuǎn)角度的納米位移臺同時變化的全姿態(tài)識別和超精密測量校準。

包括支撐系統(tǒng)( I )、激光系統(tǒng)(2)和測量系統(tǒng)(3)，所述支撐系統(tǒng)( I )包括支撐臺( 11 )和空氣懸浮臺( 12 ) 包括納米位移臺( 33 )、測定鏡( 38 )和三維干涉儀，所述納米位移臺( 33 )經(jīng)由納米位移調(diào)整板( 32 )固定在所述懸浮平臺( 12 )上，所述納米位移臺( 33 )由所述固定托架( 35 )固定.

2 .根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米位移計6自由度校準裝置，其特征在于，所述激光系統(tǒng)(2)和所述測量系統(tǒng)(3)之間用光纖連接。