本實用新型涉及一種通過調(diào)節(jié)加熱盤升降來調(diào)節(jié)兩極板間間距的手動升降裝置，屬于半導(dǎo)體薄膜的沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù):

目前，半導(dǎo)體電鍍設(shè)備，特別是12英寸PECVD設(shè)備產(chǎn)品的加熱盤升降調(diào)節(jié)機構(gòu)由電動滑臺(氣動滑臺)、導(dǎo)軌、波紋鋼管、上下連接法蘭、導(dǎo)向機構(gòu)、調(diào)平機構(gòu)、密封機構(gòu)、傳感器和支架構(gòu)成動力連通時，滑臺在導(dǎo)向機構(gòu)的引導(dǎo)下上下移動，通過傳感器反饋位置實現(xiàn)加熱盤的升降調(diào)整。 但是，上述復(fù)雜的調(diào)整結(jié)構(gòu)可以滿足調(diào)整加熱盤升降的需要，滿足升降位置反饋和調(diào)整的需要，但由于設(shè)備的工作環(huán)境一般為400°C以上的高溫，調(diào)整和反饋的信號容易干擾，維護時設(shè)備的 高端電子設(shè)備的成本也不會變小，上述閉環(huán)全自動的設(shè)計結(jié)構(gòu)并不完全適應(yīng)半導(dǎo)體電鍍行業(yè)的現(xiàn)狀。

本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種占地面積小、結(jié)構(gòu)簡單、容易調(diào)平的新型手動升降裝置。 為了實現(xiàn)上述目，本實用新型包括波紋管組件，波紋管組件通過焊接形成波紋管組件和上下凸緣. 在此基礎(chǔ)上，法蘭固定在加熱盤底部，下法蘭按壓密封件固定在穩(wěn)定流室底部，實現(xiàn)波紋管的固定和密封。 波紋管組件的下法蘭與導(dǎo)向銅套連接，在整個裝置的垂直方向上被導(dǎo)向。 所述導(dǎo)向銅套與線母連接，線母與螺桿卡合，通過轉(zhuǎn)動螺釘固定座、銅套和手柄實現(xiàn)螺桿的順利旋轉(zhuǎn)。 指針固定在導(dǎo)套上，刻度板環(huán)在把手的外圈上。 調(diào)整刻度盤時，刻度盤會準(zhǔn)確地指示旋轉(zhuǎn)行程，刻度在數(shù)量級表示上升或下降的位移。 導(dǎo)向銅套的外周有與彈簧相連的螺栓，用于微調(diào)加熱盤的水平。 通過彈簧的自鎖功能，可以在調(diào)整中獲得可調(diào)整的效果。 本實用新型采用簡單可靠的機械傳動機構(gòu)和直觀的刻度盤、標(biāo)尺代替現(xiàn)有技術(shù)的滑臺和傳感器，其結(jié)構(gòu)簡單。 另外，在實現(xiàn)基本功能需求的基礎(chǔ)上，可以完全實現(xiàn)加熱柜的升降調(diào)整、極距調(diào)整，加之機構(gòu)整體空間小，調(diào)平和拆卸維護簡單，保證升降高度的反饋直觀，成本低廉 適用于科研機構(gòu)和小型Fab工廠所需的經(jīng)常性調(diào)整試驗參數(shù)，反復(fù)調(diào)整比對實驗結(jié)果的目的。

具體實施方式：

波紋管組件通過焊接形成波紋管和上下凸緣，其上凸緣固定在加熱盤底部，下凸緣按壓密封固定在穩(wěn)定流室底部進行波紋管固定和密封，波紋管組件下凸緣與導(dǎo)向銅罩連接，在裝置整體的上下方向上

根據(jù)權(quán)利要求1所述手動升降裝置，其特征在于，所述螺桿(8)為t型結(jié)構(gòu)。

摘要專利手動升降裝置主要解決了現(xiàn)有產(chǎn)品結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高等技術(shù)問題。 該裝置包括波紋管組件，波紋管組件由波紋管和上下法蘭焊接而成。 在此基礎(chǔ)上，固定在加熱盤底部，下法蘭按壓密封件固定在穩(wěn)定流室底部，實現(xiàn)波紋管的固定和密封。 在整個裝置的垂直方向上被導(dǎo)向。 指針固定在導(dǎo)銅套上，刻度板環(huán)固定在把手的外圈上，導(dǎo)銅套的外周設(shè)有與彈簧連接的螺栓。 本裝置采用簡單可靠的機械傳動機構(gòu)和直觀的刻度盤、標(biāo)尺代替?zhèn)鹘y(tǒng)的滑臺和傳感器，結(jié)構(gòu)簡單，拆卸維護方便，成本低廉。 適應(yīng)科研機構(gòu)和小型Fab工廠所需的經(jīng)常性調(diào)整試驗參數(shù)，反復(fù)調(diào)整比對實驗結(jié)果的目的。