實驗光路

1 .接通電源，等待激光1迅速發(fā)光，光強度穩(wěn)定。 2 .打開驅(qū)動電源開關(guān)。

檢查CMOS23的電信號是否點亮。

4 .光路調(diào)整時拆下反射鏡4、13后，使激光擴散。

移動到反射鏡4、13，不擴散激光。 注:以下所有實驗的開始步驟與通用部分相同

高精密電動二維位移臺本實驗步驟

 1 .擴展

2 .在組合工作臺16、18上分別安裝平面鏡，調(diào)整工作臺16、18進行調(diào)平，以使2路反射光經(jīng)常重疊(在成像物鏡20后焦點面，兩反射光聚光的焦點重疊)

3 .打開電腦，微調(diào)舞臺上的千分尺，顯示屏上就會看到干涉條紋

調(diào)整CMOS在軌道上的位置，使干涉條紋清晰，鎖定23，進一步調(diào)整可調(diào)光圈22的開口位置，過濾分光器的寄生干涉光5 .測量程序的操作參見軟件的操作說明書。

可見初期電壓范圍內(nèi)的移動距離和電壓呈線性關(guān)系是符合理論的。 此時，如果電壓變化到150V以后，則可能是記錄數(shù)據(jù)錯誤的原因。 另外，在實驗中，有時也會因與設(shè)備本身的原因而發(fā)生條紋移動。 其次，也可能會因?qū)嶒炛械奈⑿≌駝佣鴮⒏缮鏃l紋的變化進行計數(shù)。 但是，我們可以根據(jù)前幾組數(shù)據(jù)客觀地反應位移量和電壓的系統(tǒng)。

考試問題

1 .干涉測量的好處是什么？ 寫幾個你知道的應用場景。

答:干涉測量技術(shù)多為非接觸測量，具有高測量靈敏度、高精度、高轉(zhuǎn)換增益、良好的濾波性能、良好的空間和偏振鑒別能力。 干涉測量的應用范圍非常廣泛，可以用于位移、長度、面形狀、介質(zhì)折射率的變化、振動等的測量。 2 .干涉測量采用激光的好處是什么？

答:選擇激光作為光源。 激光單色性強，方向性高，干涉效果好，測量精度高，能得到清晰明亮的干涉條紋。

3 .干涉條紋的間隔大小對測量有什么影響？ 應該怎么取值呢？

答:由于實驗是通過條紋強度的測量來實現(xiàn)微小位移量變化的測量，因此條紋間隔不會影響測量結(jié)果。 但是，為了便于觀察，實驗時必須選擇適當?shù)臈l紋間隔進行測量。 實驗調(diào)節(jié)干涉條紋，必須考慮條紋足夠粗和對比度明亮暗淡兩個方面。

4 .一般的干擾測量有什么不足嗎？ 如何改善？

答:由于環(huán)境因素的影響很大，實驗時必須避免使試驗臺振動，同時避免外部光源對激光束的影響。 在有防振裝置的實驗臺進行實驗，同時調(diào)節(jié)實驗光路后，最好用不透光的外罩遮擋實驗光路。

通過實驗掌握了激光干涉測量微小位移量的原理和方法，同時掌握了微米和亞微米

米級位移量的激光干涉測量方法，了解了激光干涉測量方法的優(yōu)點和應用情況，對干涉測量法有了深入的認識。 通過這次實驗不僅增加了我的理論知識，同時也鍛煉了我的動手能力和解決問題的能力。