XYR對(duì)位平臺(tái)也稱(chēng)為XXY、UVW定位平臺(tái)，屬于3軸并行運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 通過(guò)三個(gè)平移軸的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)XY雙軸性運(yùn)動(dòng)和θz旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 專(zhuān)用運(yùn)動(dòng)控制器中嵌入的運(yùn)動(dòng)算法和軟件，可以實(shí)現(xiàn)單軸直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)、雙軸性插補(bǔ)、雙軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。 XYR對(duì)位平臺(tái)是高精度視覺(jué)定位系統(tǒng)中的機(jī)械執(zhí)行部分，主要包括曝光機(jī)、粘合劑、掩模印刷機(jī)、WAFER定位、部件安裝、PCB鉆頭、LCD亮燈特性檢查、切割機(jī)、貼片機(jī)。

XYR對(duì)位平臺(tái)整體的構(gòu)成:

XYR校準(zhǔn)平臺(tái)通常由上載物臺(tái)、下底面和中間四個(gè)模塊組成，根據(jù)模塊分布的結(jié)構(gòu)分為對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)和非對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，對(duì)稱(chēng)性結(jié)構(gòu)分為“十字形對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)”和“四邊形對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)”等。

不對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)通常用于超薄型或客戶(hù)定制的需求，通常無(wú)法設(shè)計(jì)通孔，因此在特定情況下使用。 另一方面，對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)在運(yùn)動(dòng)算法方面比較通用，而且校準(zhǔn)平臺(tái)的中心位置可以設(shè)計(jì)通孔，在一定程度上可以滿(mǎn)足透射型和反射型的定位需要，因此被廣泛采用。 對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)中的四邊形分布剛性和擴(kuò)展性更強(qiáng)，定位平臺(tái)更多地使用四邊形對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)。

XYR系列定位平臺(tái)的特點(diǎn):

滾珠絲杠傳動(dòng)滿(mǎn)足高精度、高重復(fù)頻率的使用要求

通過(guò)交叉滾子導(dǎo)軌和交叉滾子軸承導(dǎo)軌，提供更高的運(yùn)動(dòng)精度

模塊標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)、配套加工、產(chǎn)品一致性好、交貨期短

實(shí)際上，根據(jù)需要，可以在中心設(shè)計(jì)光通過(guò)孔或使其具有通孔，分別實(shí)現(xiàn)透射、反射式的定位需求

標(biāo)配二相步進(jìn)電機(jī)，也可根據(jù)實(shí)際使用要求更換五相步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)